熱式氣體質(zhì)量流量計 是測量氣體流量的儀器。它可以測量氣體、空氣、氮體、空氣、氮氣、乙炔、光氣、氫氣、天然氣、氮氣、液化石油氣、過氧化氫、煙氣、甲烷、丁烷、氯氣、氣體、沼氣、二氧化碳、氧氣、壓縮空氣、氬氣、甲苯、苯、苯、二甲苯、硫化氫、二氧化硫、氨等。因此，該流量計已廣泛應用于石油、化工、半導體、醫(yī)療儀器、生物工程、燃燒控制、氣體分配、環(huán)境監(jiān)測、精密儀器、科研、測量、食品、冶金、航空航天等領域。

    熱式氣體質(zhì)量流量計的原理是什么？流量計實際上采用了熱擴散原理，是一種在惡劣條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術。熱氣體質(zhì)量流量計的典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，另一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD放置在介質(zhì)中時，速度傳感器被加熱到高于環(huán)境溫度的恒定溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質(zhì)溫度。通過速度傳感器的氣體質(zhì)量流量由傳感器元件的傳熱量計算。氣體流量計的氣體流量增加，介質(zhì)帶走的熱量增加。傳感器的溫度相應地降低了。為了保持溫度恒定，氣體流量計必須通過傳感器增加工作電流，電流增加的部分與介質(zhì)流量成正比。

    熱式氣體質(zhì)量流量計介質(zhì)溫度：熱式氣體質(zhì)量流量計基于熱擴散原理設計而成，流量計的探針是根據(jù)被測介質(zhì)溫度來決定探針加熱溫度的，一般探針加熱溫度比介質(zhì)溫度高50度。由此可以看出，流量計在正常測量時要求被測介質(zhì)溫度較為恒定，此時加熱電流與介質(zhì)流量成

    熱式氣體質(zhì)量流量計比例關系；直接式的工作原理往往和介質(zhì)的質(zhì)量(密度)相關，即直接測出與ρν成比例的信號。目前運用較多的直接式質(zhì)量流量計有:利用科里奧利原理的質(zhì)量流量計和利用流體與固體的熱能交換原理的熱式流量計。前者只能用于液體介質(zhì)測量，后者多用于氣體介質(zhì)測量。

    熱式氣體質(zhì)量流量計直接測量通過流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量，還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的溫度。質(zhì)量流量計是不能控制流量的，它只能檢測液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。

    熱式氣體質(zhì)量流量計是根據(jù)科里奧利原理制成，適用于所有過程技術分支中的大范圍連續(xù)流量測量應用。液體質(zhì)量流量計不僅能直接測量和顯示被測介質(zhì)的溫度和密度，還可顯示被測介質(zhì)的質(zhì)量流量，后者與被測介質(zhì)的其他參數(shù)如密度、溫度、壓力和流動狀態(tài)無關。